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展会回顾|盛剑环境2019年IC WORLD大会完美收官

2019-12-04

  

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  ​丨展会介绍

  2019年11月28日,由北京市经济和信息化局主办,北京经济技术开发区管委会、北京半导体行业协会、国际半导体产业协会、美国华美半导体协会、中关村集成电路产业联盟、中关村集成电路材料产业技术创新联盟、集成电路零部件产业技术创新联盟、北方集成电路产业科技创新发展(北京)有限公司联合承办的2019北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会在北京亦创国际会展中心盛大开幕。

  丨现场盛况

  

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  盛剑环境系为中国泛半导体产业提供工艺废气治理系统解决方案的国内领军企业。深耕泛半导体工艺废气治理领域多年,持续服务于京东方、华星光电、天马微电子、维信诺、中电熊猫、信利光电、惠科光电、中电系统等知名企业,为泛半导体产业绿色生产创造价值,基于在国内泛半导体工艺废气治理领域的领先地位,盛剑环境受邀在『挑战芯机遇 集成电路只能工厂建设与环保论坛』中进行技术分享。以《泛半导体行业制程排气减排技术研讨》为主题,主要对最新的环保排放形势进行分析,提出针对性的解决方案。

  丨设备展示

  

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  本次展会现场的主打明星设备LOC SCRUBBER系盛剑自主研发制作的有毒尾气处理设备。

  LOC SCRUBBE简称L/S,是一种工艺废气处理装置,安装于半导体工厂生产设备侧,用于处理集成电路生产制造过程中产生的有毒有害气体。该等气体可能腐蚀各类管线,造成作业人员中毒、破坏大气环境等危害,与其它危害物相遇或累计较高浓度时可能产生火灾风险。

  用途:对工艺机台排出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理,通过高温氧化、还原反应,降低有毒物质浓度。

  原理:工艺设备产生的并经过真空泵抽取的废气,通过L/S设备入口管道后被导入内部反应腔,废气在反应腔内分解,分解后形成的副生成物和水壁反应炉的水分反应后,直接流入循环水箱,被分解后的尾排气体及未分解的HCl、HBr、Cl2等水溶性气体则通过洗涤部水洗后流至下游风管排出。

  特点:适用于难以分解的含氟化合物或硅烷等有毒废气处理。废气处理性能高,可实现大容量处理;减少SiO2等粉尘的堵塞和排放;急速升降温,开关机所需时间短;高节能、三种运行模式根据生产工况自动切换模式;停电时安全互锁,可防止设备损伤;设备尺寸小。

  泛半导体客户的部分工艺持续产生以含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气,危害性大且处理难度高,需在生产区域配置适合气体特性的就地处理设备进行预处理,之后再排入中央治理系统。公司研发的L/S等单体治理设备,对上述有毒有害废气进行源头控制后,通过中央治理系统实现达标排放,提升了公司工艺废气治理的综合实力。

  

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  LOC SCRUBBER在现场受到极高的关注度,我们的资深技术工程师也忙的不亦乐乎,对每一位客户的问题都一一的进行了专业的介绍及解答。

  丨精彩时刻

  

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  每一次展会的圆满成功

  都离不开每一位客户的支持与信任

  未来,盛剑环境将继续为守护美好蓝天为己任

  以梦为马,未来可期…

  -END-

  

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  盛剑环境是一家为中国泛半导体产业提供工艺废气治理系统解决方案的国内领军企业。公司专注于泛半导体工艺废气治理系统及关键设备的研发设计、加工制造、系统集成及运维管理,致力于为客户定制化提供安全稳定的废气治理系统解决方案。

  公司总部位于上海,旗下有上海盛剑通风管道有限公司、江苏盛剑环境设备有限公司以及北京盛科达技术有限公司。公司深耕泛半导体工艺废气治理领域多年,持续服务于京东方、华星光电、天马微电子、维信诺、中电熊猫、信利光电、惠科光电、中电系统等知名企业。

  凭借在国内泛半导体行业积累的设计能力、专业人才及实战经验,公司开始将先进治理技术和综合解决方案应用拓展至垃圾焚烧、VOCs减排行业。


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