业务简介
工艺废气治理系统解决方案
集成电路、半导体显示、新能源产业生产过程中大量使用的化学品与特殊气体，持续产生成分复杂的工艺废气。废气治理直接影响客户的产能利用率、产品良率，以及员工职业健康、生产环境。针对各工艺段产生的废气，盛剑环境提供一般排气、酸性、碱性、有毒、VOCs等废气系统解决方案。
集成电路
集成电路
集成电路制造的核心工艺流程主要包括掺杂、光刻、刻蚀和薄膜工艺。在硅片清洗、氧化、湿法腐蚀、干法腐蚀、离子注入、扩散、化学气相沉积等环节产生大量酸碱、砷烷、磷烷、 有机等工艺废气。
半导体显示
半导体显示
TFT-LCD的阵列、彩膜、成盒、模组工序产生大量有害废气，包括酸性、碱性、有机废气及含氟废气等。AMOLED的阵列、模组工序产生酸性、碱性、有机等工艺废气。
新能源
新能源
凭借在半导体行业积累的设计能力、专业人才及实战经验，公司将先进治理技术和综合解决方案应用拓展至新能源产业环境治理等行业。
中央废气处理系统
一般排气系统
保持洁净区严苛生产环境
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酸碱废气系统
中和反应的精确应用
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沸石转轮浓缩系统
持续高效浓缩 后序处理更经济
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蓄热式焚烧系统 RTO
强大氧化能力，高效余热回收
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直燃式焚烧系统 TO
复杂VOCs首选
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冷凝处理系统
出色的化学品回收与高沸点有机物处理能力
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弹匣式除尘系统
过滤干燥废气粉尘
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湿式静电除尘系统
不止于深度除尘、更除酸雾
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氮氧化物废气处理系统
有效去除废气中氮氧化物，从而去除黄烟问题。
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布袋除尘系统
有效过滤干燥废气中的粉尘，实现达标排放
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半干法脱硫系统 SDA
有效去除废气中的SOₓ等酸性气体，进入后续处理工序。
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湿法脱酸系统
高效去除废气中氮氧化物，实现氮氧化物的超净排放。
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选择性催化还原系统 SCR
高效去除废气中氮氧化物，实现氮氧化物的超净排放。
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化学品供应系统CDS
可信赖的化学品供应保障系统
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有机溶剂回收系统 SRS
有限资源的无限循环利用
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硅烷燃烧收集系统
有效搜集太阳能电池、 液晶TFT-LCD薄膜的PECVD等工序产生的特殊气体。
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玲珑 VOCs净化一体机
精密集成的一站式mini处理装置
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洁净室专用制程排气管道
盛剑涂层风管，专注高科技厂房制程工艺排气系统
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HOOK UP 二次配
HOOK UP主要为工艺设备安装完成后，将主系统预留点与工艺设备需求点进行连接。
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运营总部 : 上海市嘉定区汇发路301号盛剑大厦
海外总部 : 2 Science Park Drive, Ascent #01-08 Singapore
华北运营中心 : 北京市朝阳区工人体育场北路甲6号1516室
华东制造中心 : 江苏省昆山市巴城镇石牌德昌路318号
华中制造中心 : 湖北省孝感市高新区吴家店路 1 号
华南制造中心：广东省惠州市惠阳区宏兴路8号
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