LOC-VOC

泛半导体行业生产车间某些区域循环风中含有一定量的挥发性VOCs气体，影响职业健康和产品良率。含有VOCs的气体通过沸石，VOCs被吸附，洁净气体排至车间，小风量的高温气体从沸石上脱附出高浓度的VOCs，排至VOCs中央处理装置，集中处理达标排放。