厦门天马微电子有限公司

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l 上海盛剑为厦门天马微电子有限公司提供整套废气处理系统解决方案（包括设计、 制造、 安装、 调试和维护），用于处理生产过程中产生的酸、碱、剥离液、CVD和有机废气。

l 针对剥离液性质与浓度，加入了前置剥离液冷凝处理系统，不仅冷凝的剥离液可回收利用，减少洗涤塔化学品使用量，并且提高了系统处理效率。

l 对于CVD排气系统中的粉尘和氮氧化合物等酸性气体，采用弹匣式除尘机+三级塔设计， 有效去除粉尘和酸性废气。

l 针对挥发性有机废气，采用ROTOR+RTO（三槽）设计，不仅大大节约运行燃料费用，也解决了传统二槽式RTO排放瞬间超标问题。

l 系统解决方案

酸废气排放解决方案

碱废气排放解决方案

CVD废气排放解决方案

剥离液废气排放解决方案

挥发性有机废气排放解决方案