化学品供应与回收系统解决方案

化学品供应系统CDS

设计功能

将化学品自槽车、IBC桶、DRUM桶等存储容器送至使用点，保障供应。包含充装、调配、供应、过滤等功能系统。

适用化学品

无机酸碱类，硫酸、盐酸、硝酸、氢氟酸、氢氧化钾、氢氧化钠等。

有机溶剂类，IPA、EBR、丙酮、酒精、EKC270、EKC265等。

系统优势

科学新颖的工艺及制造设计；高级别的洁净室内制造，严格的出厂测试；安全可靠的设备及系统；专业贴心的技术及售后服务。

有机溶剂回收系统 SRS

设计功能

利用化学分离工程基本原理，将泛半导体制程所排放废气、废液中有效成分回收并提纯利用，同时确保回收品质达到原液标准。主要采用降膜蒸发、薄膜蒸发、精馏、吸收、解吸、冷凝吸收、吸附、膜分离等工艺。

适用化学品

废气资源，如剥离液（STRIPPER),NMP，油气等；

废液资源，如剥离液废液，NMP废液，IPA废液等。

系统优势

模块化集成设计，节约占地面积；

采用PLC或DCS控制系统，可视化操作界面；

系统负荷可根据实际运行状况自动调整。

得益于泛半导体产业工艺废气治理的服务口碑，以及对产业制程的深刻理解，盛剑逐步进入化学品供应与回收领域。

化学品供应系统

将化学品由原材料供应商提供的盛装容器内，输送至工艺设备使用点，并根据需要配备稀释、混配、过滤等功能。

有机溶剂回收系统

将使用后的有机溶剂进行提纯再生。根据需要添加单组分或添加剂，调剂至原液标准后循环使用。